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ROTOVAC (磁性流体シール技術)

ロータリージョイント「ROTOVAC シリーズ」

Rotovac.jpg  
  • 磁性流体シールを採用した、クリーン環境向けの真空用ロータリージョイントです。
  • 磁性流体シールの為、摩耗粉やパーティクルが発生しません。
  • 1x10-6Paまでの真空度まで使用可能です。
  • 使用温度:80℃まで使用可能です。
    (80℃以上で使用する場合は、別途冷却機構が必要です。)
  • 低回転トルクで使用する事が可能です。
  • 中空形状でのご提案も可能です。
導入事例
  • 半導体関連製造機械
  • フラットパネルディスプレイ製造装置
  • ウェブコーター装置
  • 電球製造装置
  • パッケージングマシン

    など
rotovac2.jpg    vac4.png
構造参考図(カートリッジ)
Rotovac cut away.png        
 ROTOVAC シリーズ 構造参考図
 ※ROTOVACシリーズは、お客様の仕様やデザインに合わせた特殊設計対応が可能です。
  お気軽にお問い合わせください。

 

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