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- 磁性流体シールを採用した、クリーン環境向けの真空用ロータリージョイントです。
- 磁性流体シールの為、摩耗粉やパーティクルが発生しません。
- 1x10-6Paまでの真空度まで使用可能です。
- 使用温度:80℃まで使用可能です。
(80℃以上で使用する場合は、別途冷却機構が必要です。)
- 低回転トルクで使用する事が可能です。
- 中空形状でのご提案も可能です。
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- 半導体関連製造機械
- フラットパネルディスプレイ製造装置
- ウェブコーター装置
- 電球製造装置
- パッケージングマシン
ROTOVAC シリーズ 構造参考図
※ROTOVACシリーズは、お客様の仕様やデザインに合わせた特殊設計対応が可能です。
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