高精度な製造技術で、摺動面をコントロールしています。
最大20MPaの高圧/最高42,000回転の専用設計が可能です。
流体が流れる前のから運転時でも使用が可能です。
同じポートに複数の流体を切り替えて使用可能です。(クーラント&エアー&MQL等)
スピンドルへのセンタースルークーラント供給
ツールホルダー(回転工具)へのクーラント供給
CMP装置回転部への純水供給 及び 真空引き
高精度な製造技術で、摺動面をコントロールしています。
最大7MPa・最高6,000rpmの高圧・高速回転で使用する事が可能です。
主にツールホルダーのクーラント供給用として使用されています。
ツールホルダー(回転工具)へのクーラント供給
高速回転テーブル上へのエアー・クーラントの供給