様々な接触式シールを用いたリークフリー設計です。
1つのロータリージョイントで、複数の流路を備えた設計が可能です。
CMP装置回転部への冷却水・純水等の供給
カッターヘッド駆動用油圧や作泥剤の供給
テーブル上アクチュエーターへの作動油・エアー等の供給
ポート数・接続口径・流路径・材質をラインナップよりお選びいただけます。
お客様の仕様に応じたカスタマイズモデルをご提案いたします。
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