ROTOVAC（磁性流体シール方式）
- 磁性流体シールを採用した、クリーン環境向けの真空用ロータリージョイントです。
- 磁性流体シールの為、摩耗粉やパーティクルが発生しません。
- 1x10-6Paまでの真空度まで使用可能です。
- 使用温度：80℃まで使用可能です。
（80℃以上で使用する場合は、別途冷却機構が必要です。） - 低回転トルクで使用する事が可能です。
- 中空形状でのご提案も可能です。
製品の特長
磁性流体シール採用
摩耗粉やパーティクルを嫌うクリーン用例に適しています。
高真空度に対応
1.0×10⁻⁶Paで使用可能です。
活用・導入事例
事例.1
半導体関連機器
高真空用例、摩耗粉・パーティクルが少ない用例
製品の詳細
構造図
※ROTOVACシリーズは、お客様の仕様やデザインに合わせた特殊設計対応が可能です。
お気軽にお問い合わせください。
〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜3丁目18番9号
新横浜ICビル8F
TEL 045-473-7001(代)/
FAX 045-473-7017